“遼寧五一勞動獎章”獲得者侯鵬:要做最好的純化器

99.9999999%氣體純度，相當於10億個氣體分子中，包含的雜質分子不超過1個。

“一定要做最好的純化器。”20多年來，侯鵬一直堅守這個信念，研發出達到國際同類產品頂尖水平的9N級氣體純化器。

侯鵬今年46歲，是大連華邦化學有限公司研發中心總監。因為目睹過國外氣體純化設備生產商的傲慢，他在心中埋下了一顆堅定的種子——走自主創新之路，研發出最好的純化器。

高純度氮氣、氫氣、氬氣等氣體是超大規模集成電路、平面顯示器和半導體器件等電子工業生產必不可少的原材料，制備這些高純度電子氣體的關鍵設備就是氣體純化器。2014年以前，世界上隻有美國、日本的3家企業能夠生產超高純氣體純化設備。

8年前，侯鵬與5位志同道合者組建最初的研發團隊。研發過程艱難曲折，在破解氣體純化達標、產品穩定性等難題的過程中，他們經歷了無數次失敗，但都沒有動搖信念。

2014年，團隊開辟全新工藝制備技術路徑，生產出第一台超純氣體純化器。2016年是關鍵的一年，侯鵬團隊實現產品技術突破，成功開發出9N級氣體純化器。

2018年，公司臨時接到大連英特爾1萬立方米/小時的氣體純化器訂單，要在3個月內交付。作為項目技術第一負責人，在確認技術和設計方案后，侯鵬在一個月裡每天守在現場進行不間斷測試，最終生產出的產品相關檢測全部達標。

第一次生產國內首台超大型設備，第一次服務世界頂級國外半導體企業，這為大連華邦在業內贏得了“技術實力過硬”的口碑。

技術創新永無止境。2019年，侯鵬又主持了半導體行業尾氣中氮氧化物的純化系統工程項目。此項目可年消減63噸氮氧化物排放，已列入我省節能減排的技術名錄。目前，公司共申請知識產權40余項、授權發明專利2項、實用新型專利16項，形成較為完善的自主知識產權體系。

“能成為‘遼寧五一勞動獎章’獲得者，我感到非常榮幸。”侯鵬說，他將帶領研發團隊繼續攀登高峰，為國家半導體產業的發展貢獻力量。