沈陽半導體裝備產業成立技術創新聯盟：優勢互補 組團成長

雙臂，四指，真空機械手有節奏地伸縮旋轉。

“伸縮動作3.2秒，旋轉90度1.5秒，旋轉180度2.2秒……”沈陽新鬆機器人股份有限公司半導體事業部工程師，正在實驗室跟蹤數據、調試產品。

“這是新鬆第一次對外提供雙臂真空機械手。”公司事業部副總裁楊奇峰介紹，這個產品專為沈陽拓荊科技有限公司的半導體薄膜設備開發。

拓荊科技和新鬆機器人都是沈陽半導體裝備產業技術創新戰略聯盟的骨干成員，處於沈陽半導體產業鏈的上下游。

“拓荊負責雙臂真空機械手的需求導入與應用驗証，新鬆負責產品研制，面向市場、客戶導向，研制過程中邊開發邊測試。”楊奇峰說，“根據客戶需求，經過3個多月攻關，目前新產品已進入測試階段。研發成果也豐富了新鬆的產品系列，將提升終端廠的產能，實現共贏。”

半導體裝備產業被譽為制造業皇冠上的明珠，產業鏈細分環節多、專業性強，這也意味著技術研發的高投入。2008年，沈陽半導體裝備產業技術創新戰略聯盟在沈陽高新區管委會的支持推動下正式成立，之后高新區組織聯盟骨干成員聯合申報承擔國家重大專項，在組織項目、研發過程中，經授權可以合理使用聯盟其他成員的專利技術。

真空機械手是影響整機研發進度和產品競爭力的關鍵部件，楊奇峰和他的團隊一點都不敢疏忽。

“在客戶使用環境中產品依然保持穩定、可靠才行，這還需要大量驗証。”楊奇峰說，“對於新產品，越少人用，產品的穩定性和可靠性就越難做上去。正是國家項目支持、聯盟企業彼此寬容，幫我們度過了最初的業績積累期。新鬆的單臂真空機械手目前已批量應用於國內主流半導體工藝設備。”

經過多年發展，沈陽半導體裝備產業技術創新戰略聯盟由弱到強，19家企業、科研院所和高校覆蓋了半導體裝備產業鏈的不同環節，多個企業年產值突破2億元。

展望“十四五”，楊奇峰和他的團隊信心更足。“作為企業，要擔起創新主體的責任，加大技術攻關力量，為優化升級產業鏈做貢獻。”