“辽宁五一劳动奖章”获得者侯鹏:要做最好的纯化器

99.9999999%气体纯度，相当于10亿个气体分子中，包含的杂质分子不超过1个。

“一定要做最好的纯化器。”20多年来，侯鹏一直坚守这个信念，研发出达到国际同类产品顶尖水平的9N级气体纯化器。

侯鹏今年46岁，是大连华邦化学有限公司研发中心总监。因为目睹过国外气体纯化设备生产商的傲慢，他在心中埋下了一颗坚定的种子——走自主创新之路，研发出最好的纯化器。

高纯度氮气、氢气、氩气等气体是超大规模集成电路、平面显示器和半导体器件等电子工业生产必不可少的原材料，制备这些高纯度电子气体的关键设备就是气体纯化器。2014年以前，世界上只有美国、日本的3家企业能够生产超高纯气体纯化设备。

8年前，侯鹏与5位志同道合者组建最初的研发团队。研发过程艰难曲折，在破解气体纯化达标、产品稳定性等难题的过程中，他们经历了无数次失败，但都没有动摇信念。

2014年，团队开辟全新工艺制备技术路径，生产出第一台超纯气体纯化器。2016年是关键的一年，侯鹏团队实现产品技术突破，成功开发出9N级气体纯化器。

2018年，公司临时接到大连英特尔1万立方米/小时的气体纯化器订单，要在3个月内交付。作为项目技术第一负责人，在确认技术和设计方案后，侯鹏在一个月里每天守在现场进行不间断测试，最终生产出的产品相关检测全部达标。

第一次生产国内首台超大型设备，第一次服务世界顶级国外半导体企业，这为大连华邦在业内赢得了“技术实力过硬”的口碑。

技术创新永无止境。2019年，侯鹏又主持了半导体行业尾气中氮氧化物的纯化系统工程项目。此项目可年消减63吨氮氧化物排放，已列入我省节能减排的技术名录。目前，公司共申请知识产权40余项、授权发明专利2项、实用新型专利16项，形成较为完善的自主知识产权体系。

“能成为‘辽宁五一劳动奖章’获得者，我感到非常荣幸。”侯鹏说，他将带领研发团队继续攀登高峰，为国家半导体产业的发展贡献力量。